臭氧发生器工作原理包括氧气生成和臭氧生成两部分。

氧气生成原理：空气中一般氧气含量21%，氮气含量78%，其它气体1%。制氧机主要采用分子筛技术。布满无数超微孔的分子筛有着极强的吸附能力，利用氧分子筛在一定压力下对空气中的N 、O不同的吸附能力，采用国际上比较先进的物理吸附分离原理—PSA变压吸附技术。加压吸附（氮气吸附在分子筛微孔中，氧气则穿其而过），常压解吸（排出被吸附的氮气），周而复始，达到连续不断地从空气中分离高纯度氧气的目的。从而将氧气浓度从21%提升到90%以上。
    制氧机主要采用两塔分离技术，应用性能优良的PSA专用氧分子筛，无油空气压缩机以及气动阀控制系统，进行有效分离氧气。

   臭氧生成原理：产生臭氧的原理采用电晕放电法获取，就是在常压下使含氧气体在交变高压电场作用下产生电晕放电生成臭氧。电晕放电法臭氧发生器是相对能耗较低、单机臭氧产量最大、市场占有率最高、应用最广的臭氧发生装置。气体中氧气为O₂，经过高频高压的轰击，O₂变成不稳定的O₃，而O₃不稳定，氧化能力大大提高，我们就是利用O₃的强氧化性来进行杀菌、消毒、除味和工业废水氧化处理。